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光刻胶原材料反应罐防爆冷热循环一体机「欧能机械」

返回列表 来源: 欧能机械 发布日期: 2025.05.08/14:19

合作项目光刻胶原材料反应罐控温

合作产品:防爆冷热循环一体机

合作时间2025年4月

案例介绍

科技公司从事光刻胶原材料的研发试验,其核心工艺涉及反应罐的真空环境控制。反应罐在抽真空过程中,空气中的水汽可能进入真空泵,导致泵体腐蚀或性能下降。

光刻胶原材料反应罐防爆冷热循环一体机

该工艺的控温对象为反应罐抽出的气体,要求将气体温度快速降至-20℃,确保水汽充分冷凝。由于试验涉及有机溶剂,设备需满足防爆要求(BT4等级),同时具备稳定的制冷和加热能力,以适应工艺中的温度变化需求。

针对这一需求,实验室选用了防爆型冷热循环一体机,温度范围为-20℃~30℃。设备采用风冷压缩机组搭配电加热,载冷剂为乙二醇水溶液,通过内置冷凝器(4㎡换热面积)将抽出的气体冷却至-20℃。

冷凝后的水汽收集至30L的储液箱,并实现抽真空后的自动排水。这一方案有效避免了水汽对真空泵的损害,同时防爆设计确保了有机溶剂环境下的操作安全。

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